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半導体材料・デバイスの評価 第3版: パラメータ測定と解析評価の実際
ディーター・K. シュロゥダー/Schroder,Dieter K./恭博, 嶋田
半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック
中瀬 真/山岡 亜夫/上野 巧/塘 洋一/後河 内透/内藤 卓哉/村井 二三夫/花畑 誠/中村 二朗/松尾 隆弘/伊東 敏雄/老泉 博昭/田中 稔彦/橋本 訓/木原 尚子/松澤 敏晴/大藤 武/田中 初幸/上野 巧/田中 啓順